深城，南方光学，这是一家仙女山控股投资创办的企业，在收购了一家颇有历史的光学企业之后，大力招揽光学领域的人才。

依托国内现有的一些供应链，南方光学在去年的时候先是搞定了可商用的I-LINE光刻机的光源系统，随后去年又搞定了KRF光源系统，协助海湾科技搞出来了KRF光刻机，并进行了商用化。

目前正在进行DUV干式光刻机所需要的ARF光源系统的研发。

如今的南方光学，已经迅速成长为国内光学领域里的龙头企业，其实力已经超过了国内其他的一些光学企业。

但是即便如此，技术积累也严重不足，搞ARF光源的时候遇到了无数的麻烦，不久前的光源测试又失败了。

这让南方光源的一群核心研究人员愁眉不展！

“这么下去不行啊，我们的研发进度已经拖延了不少，海湾科技那边都已经把机台搞出来了，就等着我们的光源呢。”

“上一次的测试失败，关键还是材料问题，其中的几种材料因为性能参数太低，我们不得不采用了多种折衷的办法来实现设计效果，但是绕了太多弯路，导致整个系统太复杂，故障率也是水涨船高！”

“这样的光源系统看似是做出来了，但是根本没办法用于商用！”

而就在这个时候，南方光学的科研老大，来到了仙女山控股总部公司里，看到了一枚小小的闪存芯片。

随后打开，并输入了复杂密码对内部储存的文件进行了解密后，这个负责人眼睛都呆住了。

“这些资料从哪里来的？”

“这是EUV光源系统的整体设计啊，而且还如此的详细，涉及到了每一项零配件的详细参数！”

“还有这个ARF光源系统，这不就是ASML现在的DUV光刻机上用的光源系统嘛？你们怎么弄来的这这些资料啊？”

仙女山控股过来送资料的人道：“别问我，我也不知道，我劝你最好也别问，很多事知道的太多对你没什么好处！”

“让你过来，是让你充当顾问，指导我们对文件进行删改，只要要把这些同行公司的名称给删除了，不然直接拿去给技术人员看，影响不太好！”

“没问题，我保证把文件删改的让人看不出来明显痕迹，不过这技术特征太明显了，这要是原样做出来的话，稍微懂行的人都能看出来我们是抄的！”

“那就是抄的呗，国内的DUV光刻机多了去，我们拆开几台看看，抄一抄也是很正常的！”

不用多久，经过了初步整理的资料被送到了南方光学，并陆续以各种名义分批，分批发放部分ARF光源系统的研发资料。

问就是公司机密，别问那么多。

然后南方光学在ARF光源领域的研发瞬间提速……当然，就算是提速了也不可能一下子就把成熟可用的ARF光源系统弄出来，其中不少是涉及到原料的难点，人家给的资料只是告诉你用什么材料做，材料要达到什么性能。

但是材料怎么来的……这就需要南方光学自己要么自己研发，要么满世界寻找供应商了。

“目前DUV光刻机的研发还是比较顺利的，也许今年夏天的时候我们就能够做出来第一台的样机，如果没有出现什么大问题的话，秋天的时候我们就能尝试做几台交付智云微电子那边进行测试，明年就能进行大规模量产！”

海湾科技的总经理王道林，心情很不错的出现在柳河投资的董事长办公室里，一边泡着茶一边道：“徐董你大可放心，本来我对这个DUV干式光刻机项目多少还有些信心不足，不过最近一年来各子系统的推进进展非常顺利，光源系统的南方光学已经给我打了包票，说他们最迟在六月份就交付第一套的ARF光源系统，这套光源系统是波长193纳米的，而且不是之前的那种测试用的光源，而是可以直接使用的光源！”

“北林精密的双工作台做起来虽然难一些，做起来的性能参数不如国外同类产品，但是勉强也可以用！”